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[詳細(xì)資料]

P78A.Z200系列壓電掃描臺(tái)是一維Z向運(yùn)動(dòng)的納米定位臺(tái)，它的行程可達(dá) 200μm，中心具有 Φ25mm 通孔，適用于透射光應(yīng)用

特點(diǎn)

• Z 向運(yùn)動(dòng)，行程達(dá) 200μm

• 可正向、臥式或倒置使用

• 可定制真空版本

應(yīng)用

• 表面檢測(cè)

• 顯微成像

• 干涉

• 半導(dǎo)體加工與測(cè)試

• 真空環(huán)境

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