中空式激光合束壓電偏擺臺
P54系列是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學系統(tǒng)中。
特點
• θx,θy偏擺運動
• 開環(huán)/閉環(huán)可選擇
• 80×80mm大通孔
• 分辨率高
• 外形薄
• 適于加速度/角速度傳感器標定
θx,θy軸偏擺
應用實例
P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用于軍事激光武器等領域。
閉環(huán)傳感精度高
P54系列壓電偏轉臺內部柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析優(yōu)化，使角度偏移達到小，無空回、無摩擦。采用壓電陶瓷驅動實現大偏轉范圍±1mrad，分辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實現0.1%F.S.的重復定位精度。臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為80×80mm，P54壓電偏轉臺是亞微弧度精密光束調整、計量、定位等應用的不錯選擇。
負載大鏡片
P54壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透射光的應用，負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。
頻率負載曲線
典型應用
• 光束掃描
• 激光合束對準與激光致盲
• 干涉 / 計量
• 空間擾動模擬系統(tǒng)
• 微操作
• 掩模與晶片位置調整
開環(huán)曲線
階躍時間
重復定位精度
推薦控制器
技術參數
注：以上參數是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。驅動電壓范圍可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在0~120V。
