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小體積一維壓電旋轉臺

更新時間: 2020-03-16

P21壓電旋轉臺為一維θz旋轉臺,產品體積小巧,旋轉角度可達到7.5mrad,承載能力達0.1kg,可帶動鏡片做精密旋轉運動。

產品運動示意圖

小體積、高分辨率、高精度

P21一維旋轉臺采用機構放大設計原理, 可以實現7.5mrad的旋轉, 體積小巧、結構緊湊, 尺寸僅為60×60×15mm,非常易于集成到精密旋轉設備中。采用壓電陶瓷作為驅動元件,臺體采用柔性鉸鏈機構,無摩擦、無回差,可以實現0.2μrad的分辨率。內置SGS傳感器配套閉環控制器可以實現微弧度的定位精度,在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。

典型應用

頻率負載曲線

應用實例

P21系列壓電旋轉臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用,組成多軸精密壓電定位臺,用于多維精密直線與旋轉定位操作。

技術參數

型號:P21

運動自由度:θz

旋轉角度@120V:6mrad(~1240”)   

旋轉角度@150V:7.5mrad(~1500”)

閉環傳感器:SGS

閉/開環分辨率:0.4(~0.085”)/0.2(~0.04”)

閉環線性度:0.5%F.S.

閉環重復定位精度:0.2%F.S.

推/拉力:10/5N

運動方向剛度:1N/μm

空載諧振頻率:1.1kHz

閉/ 開環空載階躍時間:30/1.5ms

承載能力:0.1kg

靜電容量:1.8μF

材質:鋁

重量:105g

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